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铝壳氦检机

  • 型号参数

  • 铝壳氦检机

  • 设备效率

  • ≥20ppm(cell)

  • 平台高度

  • 950mm ±30mm

  • 一次优率

  • ≥99.9%

  • 故障率

  • ≤1%

  • 设备电压

  • AC380V±10V

  • 额定功率

  • 18KW

  • 设备气压

  • 0.5Mpa~0.7Mpa