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• 外形尺寸

• 11500(L)x5600(W)x2500(H)

• 平台高度

• 900mm ±30mm

• 产能

• ≥30PPM（cell）

• 产品一次合格率

• ≥ 99.5%

• 设备电压

• AC380V±10V

• 额定功率

• 110KW

• 设备气压

• 0.5Mpa～0.7Mpa